МИДА-ДА-15-Э

Эталонный датчик абсолютного давления для вакуумной техники

Описание

На основе эталонных датчиков абсолютного давления разработан также датчик абсолютного давления для вакуумной техники, который при диапазоне измерения 0-100 кПа имеет разрешение не хуже 10 Па. Такой датчик можно использовать вместо термопарного вакууметра при повышенной точности измерения.

В эталонных датчиках используются тензопреобразователи на основе гетероэпитаксиальных структур «кремний на сапфире», что обеспечивает высокую точность, стабильность и надежность приборов [1]. Эти датчики обеспечивают суммарную погрешность <0,05% в диапазоне температур от +10 °С до +40 °С [2]. Коррекция нелинейности и температурной погрешности выполняется в электронном блоке датчика, при этом термочувствительным элементом является мостовая измерительная схема тензопреобразователя, что позволяет снять вопрос о равенстве температуры преобразователя и термочувствительного элемента. Настройка и последующее считывание результатов измерений осуществляется посредством интерфейсов RS-485. Для взаимодействия с датчиками используется протокол Modbus.

Информация о производителе

Промышленная группа «Микроэлектронные датчики» (ПГ МИДА) разрабатывает и выпускает датчики давления на основе оригинальных исследований структур «Кремний на сапфире» (КНС). Кроме линейки общепромышленных датчиков МИДА-13П и МИДА-15  в ПГ МИДА разработан и выпускается ряд специализированных датчиков давления.

Контакты производителя

432035 г. Ульяновск, проезд Энергетиков, д. 4

тел.: 8-800-200-03-04, +7 (8422) 360-363, 360-378

факс: +7 (8422) 360-379

e-mail: info@midaus.com

www.midaus.com