Описание
На основе эталонных датчиков абсолютного давления разработан также датчик абсолютного давления для вакуумной техники, который при диапазоне измерения 0-100 кПа имеет разрешение не хуже 10 Па. Такой датчик можно использовать вместо термопарного вакууметра при повышенной точности измерения.
В эталонных датчиках используются тензопреобразователи на основе гетероэпитаксиальных структур «кремний на сапфире», что обеспечивает высокую точность, стабильность и надежность приборов [1]. Эти датчики обеспечивают суммарную погрешность <0,05% в диапазоне температур от +10 °С до +40 °С [2]. Коррекция нелинейности и температурной погрешности выполняется в электронном блоке датчика, при этом термочувствительным элементом является мостовая измерительная схема тензопреобразователя, что позволяет снять вопрос о равенстве температуры преобразователя и термочувствительного элемента. Настройка и последующее считывание результатов измерений осуществляется посредством интерфейсов RS-485. Для взаимодействия с датчиками используется протокол Modbus.
