Description
Контролируемый объект облучается внешним источником излучения. При этом в объекте возбуждается характеристическое рентгеновское излучение элементов вещества покрытия, основания и возможных примесей. Для каждого химического элемента характеристическое излучение имеет строго определенную энергию. Определение толщины (и элементного состава) контролируемого объекта осуществляется путем измерения спектральных характеристик рентгеновского излучения присутствующих элементов.
Электрический сигнал, величина которого пропорциональна энергии, переданной регистрируемым излучением веществу кремниевого детектора, с выхода блока детектирования поступает на вход цифрового спектрометрического устройства, где производятся его усиление и цифровая фильтрация. Сбор и обработка данных с ЦСУ осуществляются с помощью специально разработанной программы. Выбирая границы окна для регистрации излучения соответствующего элемента и фиксируя скорость счета в этом окне, по предварительной градуировке получается значение измеряемой толщины покрытия.
